Research Information System
Thesis Type: Postgraduate
Institution Of The Thesis: Sivas Cumhuriyet University, Mühendislik Fakültesi, Nanoteknoloji Mühendisliği, Turkey
Thesis Language: English
Student: MERYEM DİDAR BAYRAKÇIL
Supervisor: Nevcihan Gürsoy
Abstract:
Nano ölçekte Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) görüntü analizi için ölçüm tekniklerini ve yazılım araçlarının karşılaştırılması amaçlanmıştır. Boyutsal metroloji yöntemlerinin kabiliyetleri ve sınırlamaları değerlendirlerek ölçüm belirsizliği, elde edilebilir çözünürlük ve algoritma performansları çalışılacaktır.