MOVPE ile epitaksiyel AlN büyütülmesinde alttaş yüzeyinin RCA prosesi ile temizlenmesinin büyüme oranına etkisinin araştırılması

---

Demir İ. (Yürütücü)

Yükseköğretim Kurumları Destekli Proje, BAP Araştırma Projesi, 2019 - 2020

• Proje Türü: Yükseköğretim Kurumları Destekli Proje
• Destek Programı: BAP Araştırma Projesi
• Başlama Tarihi: Temmuz 2019
• Bitiş Tarihi: Temmuz 2020