Düşey kovuklu yüzey ışımalı lazer yapılarının büyütülmesi ve karakterizasyonu

---

Tezin Türü: Doktora

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Sivas Cumhuriyet Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, FİZİK ANABİLİM DALI, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2018

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: BEHÇET ÖZGÜR ALAYDİN

Danışman: EBRU ŞENADIM TÜZEMEN

Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu

Özet:

Bu çalışmada, optik pompalı Düşey Kovuklu Yüzey Işımalı Lazer yapıları Metal Organik Buhar Biriktirme sistemi kullanılarak epitaksiyal olarak büyütülmüş, kristal ve optik karakterizasyonları yapılmıştır. Büyütme parametreleri ve sürelerini optimize etmek için GaAs alttaş üzerine tek katman GaAs ve AlAs tabakaları büyütülmüştür. Büyütülen tabakaların, kalınlıklarının bulunması için teorik yansıma simülasyonları ve yüksek çözünürlüklü x-ışını kırınım sistemi ile kapsamlı şekilde karakterize edilmiştir. Tek katman büyütmelerinden sonra Dağınımlı Bragg Yansıtıcıları büyütüldü ve yansıma ölçümleri gerçekleştirildi. Daha sonra kuantum kuyusu ve bariyerinden oluşan aktif bölge GaAs üzerine büyütüldü. InGaAs kuantum kuyusunun alaşım oranı dinamik x-ışını simülasyonları ile belirlendi ve ışımanın tepe noktasını bulmak için kuantum kuyusunun fotolüminesansı ölçüldü. Optik pompalanmış VCSEL yapıları büyütülmeden önce kuantum kuyusunun ışıma dalgaboyu optimize edildi ve iki farklı VCSEL yapısı büyütüldü. Birincisi tamamen MOCVD sistemi ile büyütülürken ve ikincisi Molecular Beam Epitaksi ile üretilmiş DBR üzerine büyütülmüştür. Sonuç olarak, optic pompalı VCSEL'in performansını etkileyen kritik parametreler kapsamlı olarak incelenmiş, 999 ve 983 nm'de ışıyan optik pompalı VCSEL yapıları başarıyla büyütülmüştür.