InAlAs/InGaAs Metal-Yarıiletken-Metal Fotodedektörlerin Aygıt Simülasyonu, Epitaksiyel Büyütülmesi ve Karakterizasyonu

---

Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Sivas Cumhuriyet Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Nanoteknoloji Mühendisliği, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2024

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: Dudu Hatice ÜNAL

Danışman: İlkay Demir

Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu

Özet:

Bu tez çalışmasında, Silvaco TCAD simülasyon programı ile MSM fotodedektör yapısındaki soğurma tabakası, bariyer tabakası ve dijital dereceli süperörgü tabakasının kalınlıklarının aygıt üzerindeki etkisi araştırılmıştır. MSM fotodedektör yapısındaki her tabakanın aygıtın karanlık akımı, fotoakımı ve foto-karanlık akım oranı üzerindeki etkisi detaylı bir şekilde gösterilmiş ve optimize yapılar oluşturulmuştur. Optimize edilen yapılar Metal Organik Buhar Fazı Epitaksi (MOVPE) sistemi ile büyütülmüştür. MSM fotodedektör yapılarının konsantrasyon oranları, süperörgü tabakalarının kalınlıkları ve büyüme oranları üzerine optimizasyon yapılmıştır. Büyütülen yapıların yapısal karakterizasyonları için Yüksek Çözünürlüklü X-Işını Kırınımı (HRXRD) sistemi kullanılmıştır. Bu sayede MSM fotodedektör yapılarında kullanılacak tabakaların kalınlıkları ve akışları hassas bir şekilde optimize edilmiştir. Optimizasyon çalışmasından sonra MSM fotodedektör yapıları büyütülmüş, HRXRD sistemi yapısal özellikleri ve Fotolüminesans (PL) sistemi ile optik özelliklerini araştırılmıştır. Ayrıca büyütülen yapının fabrikasyonu yapılmış ve MSM fotodedektörün aygıt performansı gösterilmiştir.