Tezin Türü: Yüksek Lisans
Tezin Yürütüldüğü Kurum: Sivas Cumhuriyet Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Nanoteknoloji Mühendisliği, Türkiye
Tezin Dili: İngilizce
Öğrenci: MERYEM DİDAR BAYRAKÇIL
Danışman: Nevcihan Gürsoy
Özet:
Nano ölçekte Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) görüntü analizi için ölçüm tekniklerini ve yazılım araçlarının karşılaştırılması amaçlanmıştır. Boyutsal metroloji yöntemlerinin kabiliyetleri ve sınırlamaları değerlendirlerek ölçüm belirsizliği, elde edilebilir çözünürlük ve algoritma performansları çalışılacaktır.