Comparative Evaluation of Nanoscale Particle Measurements in SEM Using Multiple Software Tools


Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Sivas Cumhuriyet Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Nanoteknoloji Mühendisliği, Türkiye

Tezin Dili: İngilizce

Öğrenci: MERYEM DİDAR BAYRAKÇIL

Danışman: Nevcihan Gürsoy

Özet:

Nano ölçekte Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) görüntü analizi için ölçüm tekniklerini ve yazılım araçlarının karşılaştırılması amaçlanmıştır. Boyutsal metroloji yöntemlerinin kabiliyetleri ve sınırlamaları değerlendirlerek ölçüm belirsizliği, elde edilebilir çözünürlük ve algoritma performansları çalışılacaktır.